氦檢漏儀如何擺脫水蒸氣影響

近日，INFICON（英?？担┲匕醢l(fā)布了UL3000Fab和UL6000移動(dòng)式氦氣檢漏儀，它們集成了三大創(chuàng)新功能：

1、第二代智能抑零I-ZERO 2.0

2、本底檢測(cè)I-Check

3、水汽抑制HYDRO-S

其中，HYDRO-S是一項(xiàng)研發(fā)的技術(shù)，用以擺脫水蒸氣對(duì)本底值的影響，實(shí)現(xiàn)更快、更精準(zhǔn)的檢漏的創(chuàng)新功能！

HYDRO-S的英文全稱是HYDROgen-Suppression，中文翻譯為氫抑制。

被測(cè)試對(duì)象在抽空過(guò)程中，水蒸氣會(huì)形成不必要的本底背景，該軟件可以分離和清除來(lái)自水蒸氣的背景值，有助于使檢漏設(shè)備盡快達(dá)到低氦氣本底背景水平，從而更快開(kāi)始進(jìn)行泄漏測(cè)試。

為了驗(yàn)證HYDRO-S的功能效果，我們做了一個(gè)對(duì)比測(cè)試，如下圖：

圖中的兩根指示線分別代表了UL3000在啟動(dòng)HYDRO-S功能和未啟動(dòng)HYDRO-S功能時(shí)的泄漏測(cè)試信號(hào)，兩個(gè)信號(hào)均連接到50升測(cè)試體積，并在該體積下，于4分鐘后時(shí)同時(shí)連接有3.3 E-9 mbar l/s測(cè)試漏孔。

由圖可見(jiàn)，HYDRO-S的優(yōu)勢(shì)顯而易見(jiàn)：

泄漏測(cè)試開(kāi)始，被測(cè)對(duì)象抽空過(guò)程中，開(kāi)啟HYDRO-S功能的UL3000在2.5分鐘后就已達(dá)到了8x10E-10的本底背景氦信號(hào)，并將此本底值保持至第4分鐘，而未開(kāi)啟HYDRO-S功能的UL3000由于水蒸氣中的影響，信號(hào)曲線始終無(wú)法穩(wěn)定且達(dá)到更低的本底背景水平。

在測(cè)試第4分鐘，打開(kāi)測(cè)試漏孔后，開(kāi)啟HYDRO-S功能的信號(hào)曲線很快就顯示出了準(zhǔn)確的泄漏值，并在第6分鐘漏孔關(guān)閉后，返回到了本底背景。

而未開(kāi)啟HYDRO-S功能的UL3000在4分鐘后未達(dá)到10E-10范圍，打開(kāi)的測(cè)試泄漏在下降的背景中消失，無(wú)法確定是否存在泄漏。

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