膜厚監(jiān)測(cè)和控制儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合頻率測(cè)量技術(shù)，進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中，對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
膜厚監(jiān)測(cè)和控制儀的特點(diǎn)：
1、可以測(cè)量多層膜中每一層的厚度
2、三維的厚度型貌
3、遠(yuǎn)程控制和在線測(cè)量
4、可做150mmor300mm的大范圍的掃描測(cè)試
5、豐富的材料庫:操作軟件的材料庫帶有大量材料的n和k數(shù)據(jù),基本上的常用材料都包括在這個(gè)材料庫中.用戶也可以在材料庫中輸入沒有的材料.
6、軟件操作簡單,測(cè)速快:膜厚測(cè)量儀操作非常簡單,測(cè)量速度快:100ms-1s.
7、軟件帶有構(gòu)建材料結(jié)構(gòu)的拓展功能,可對(duì)單/多層薄膜數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析,可對(duì)薄膜材料進(jìn)行預(yù)先模擬設(shè)計(jì).
8、軟件帶有可升級(jí)的掃描功能,進(jìn)行薄膜二維的測(cè)試,并將結(jié)果以2D或3D的形式顯示.軟件其他的升級(jí)功能還包括在線分析軟件,遠(yuǎn)程控制模塊等
膜厚監(jiān)測(cè)和控制儀使用過程中需要注意以下事項(xiàng)：
1、測(cè)量應(yīng)為點(diǎn)接觸，嚴(yán)禁將探頭置于被測(cè)物表面滑動(dòng)。
2、測(cè)量時(shí)，探頭應(yīng)保持在待測(cè)點(diǎn)中心，探頭外圍不要懸空在待測(cè)面外。
3、遠(yuǎn)離強(qiáng)磁體（磁鐵、音響等）和強(qiáng)電磁場(chǎng)（變壓器、電磁爐等）測(cè)量。
4、儀器使用前，建議進(jìn)行調(diào)零操作。
5、請(qǐng)確保待測(cè)物體表面清潔，待測(cè)面上的灰塵和泥土等會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。
6、儀器顯示lowbattery時(shí)，需換新電池。
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