皮拉尼真空計的核心部件是一個加熱絲，通常由鉑或其他貴金屬制成。當(dāng)加熱絲通電加熱時，其溫度會上升。在真空環(huán)境中，加熱絲周圍的氣體分子數(shù)量取決于壓力的大小。高壓力下，氣體分子數(shù)量多，熱量通過氣體傳導(dǎo)散熱快，加熱絲的溫度較低；低壓力下，氣體分子數(shù)量少，熱量散失慢，加熱絲的溫度較高。

　　通過測量加熱絲的電阻（與溫度相關(guān)），可以間接測量氣體的壓力。因為加熱絲的電阻隨溫度變化而變化，而溫度又與周圍氣體的壓力有關(guān)。因此，通過精確測量加熱絲的電阻，就可以得到氣體的壓力。

　　產(chǎn)品特點

　　測量范圍：適用于大約10^-2到10^2毫巴（mbar）的壓力范圍，機械真空計和熱電偶真空計之間的測量空白。

　　非侵入性測量：通過測量熱量損失來工作的，它不會對真空系統(tǒng)產(chǎn)生任何侵入性影響。

　　穩(wěn)定性和重復(fù)性：具有良好的穩(wěn)定性和重復(fù)性，確保長時間內(nèi)可靠地監(jiān)測真空壓力。

　　溫度補償：通常內(nèi)置溫度補償機制，自動調(diào)整環(huán)境溫度變化，確保準(zhǔn)確測量。

　　易于安裝和使用：設(shè)計緊湊，易于安裝在各種真空系統(tǒng)上，且操作簡單。

　　與控制器兼容：它們通?？梢耘c各種真空控制器配合使用，實現(xiàn)自動化控制真空系統(tǒng)的壓力。

　　廣泛適用性：可用于各種氣體，不限于空氣，擴展了其在不同應(yīng)用中的適用性。

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　皮拉尼真空計的應(yīng)用非常廣泛，包括但不限于：

　　半導(dǎo)體制造：在芯片生產(chǎn)過程中監(jiān)控真空環(huán)境。

　　薄膜沉積：用于薄膜生長過程中的真空度監(jiān)控。

　　真空干燥：在食品和藥品的真空干燥過程中控制壓力。

　　科研實驗：在物理、化學(xué)、生物等科研實驗中維持特定的真空條件。

　　空間環(huán)境模擬：用于航天器的真空環(huán)境測試。

　　真空冶金：在特殊金屬的處理過程中控制真空環(huán)境。

　　注意事項

　　使用時，需要注意以下幾點：

　　校準(zhǔn)：定期進行校準(zhǔn)，以確保測量精度。

　　環(huán)境溫度：避免在溫度波動大的環(huán)境中使用，或者選擇具有溫度補償功能的型號。

　　氣體成分：可用于多種氣體，但不同氣體的熱導(dǎo)率不同，可能需要根據(jù)氣體成分調(diào)整讀數(shù)。

　　清潔維護：保持加熱絲的清潔，避免灰塵和油脂積累，這可能影響其性能。