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1994年,英??低瞥隽嗽诋?dāng)時(shí)具有革命性意義的冷陰極系列產(chǎn)品,其不僅鑄就了我們?cè)诰軝z測(cè)行業(yè)的地位,也成為真空測(cè)量技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要里程碑。
如今,30年過去,冷陰極系列依舊如“燈塔"般,以的性能,備受行業(yè)認(rèn)可及贊譽(yù)。英??狄惨云錇榛A(chǔ),不斷推陳出新,為用戶們帶來了更多創(chuàng)新技術(shù)和方案。
值此30周年的特別時(shí)刻,讓小編帶您來揭開冷陰極產(chǎn)品的“前世今生"吧~
閃回1994年 :英??档那吧恚且患铱偛课挥?/span>列支敦士登的真空技術(shù)專業(yè)公司“Balzers "。直到1969年,來自通用電氣(GE)和錫拉丘茲大學(xué)(SU)的一群科學(xué)家和工程師在紐約錫拉丘茲召開會(huì)議,開發(fā)鹵素檢漏儀時(shí),英???/span>INFICON 這個(gè)名字才正式誕生。
自此,英福康便以新面貌全力投身真空技術(shù)、檢漏和薄膜技術(shù)的研發(fā)生產(chǎn),并經(jīng)過多年發(fā)展,成為了該領(lǐng)域的企業(yè),諸多產(chǎn)品和方案也成為了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
1994年,英??嫡酵瞥隽死潢帢O系列產(chǎn)品,其開創(chuàng)性的傳感器技術(shù),一經(jīng)問世便備受贊譽(yù),也深刻印證了我們?cè)趧?chuàng)立之初對(duì)突破極限和重新定義真空技術(shù)的承諾。
真空測(cè)量技術(shù)的一次創(chuàng)新突破:英??道潢帢O系列產(chǎn)品(PKR)是一種將冷陰極與皮拉尼相結(jié)合的傳感器,即兩種測(cè)量原理提供單一輸出信號(hào),這在當(dāng)時(shí)具有革命性意義。將兩種測(cè)量原理合二為一,無需單獨(dú)激活冷陰極的特性,使其能夠滿足從半導(dǎo)體制造到研究實(shí)驗(yàn)室等不同行業(yè)的嚴(yán)格要求,具備高精度、準(zhǔn)確性和靈敏度。冷陰極系列產(chǎn)品的核心,是冷陰極電離真空計(jì)技術(shù),這也是英??档囊环N方法,依靠測(cè)量電離氣體粒子來確定真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力水平。這種創(chuàng)新方法可提供實(shí)時(shí)反饋,使操作員能夠精確地監(jiān)控真空過程。冷陰極與眾不同的特點(diǎn)之一是它的多功能性。無論是在超高真空環(huán)境中工作,還是處理腐蝕性氣體,這些儀器都能在各種應(yīng)用中提供穩(wěn)定可靠的性能。
此外,冷陰極系列還有英??禂?shù)十年的專業(yè)知識(shí)和質(zhì)量承諾為后盾。精密的測(cè)試和嚴(yán)格的質(zhì)量控制措施,能夠施確保每臺(tái)儀器都符合可靠性和耐用性的最高標(biāo)準(zhǔn),使其成為全球?qū)I(yè)人士值得信賴的“伙伴"。
展望未來:繼續(xù)傳承創(chuàng)新精神:隨著新興技術(shù)和行業(yè)需求的不斷發(fā)展,30年來,英??党掷m(xù)創(chuàng)新,用一個(gè)又一個(gè)新產(chǎn)品、新方案,將冷陰極所代表的創(chuàng)新、zhuoyue與可靠的精神發(fā)揚(yáng)光大。
GeminiTM系列,便是其中有代表性的當(dāng)代繼承者之一。GeminiTM MxG5xx 大氣壓至超高真空真空計(jì)是一個(gè)純冷陰極傳感器系統(tǒng),加之獲得超低雜散磁場(chǎng)設(shè)計(jì),可用于從大氣測(cè)量低至1×10-9mbar,為多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域提供了兼顧可靠性、實(shí)用性與靈活性的真空測(cè)量方案。
Augent® OPG550自激式光學(xué)發(fā)射光譜儀,則是英??祵⒗潢帢O與光譜儀相結(jié)合,為分析儀器性能帶來的又一次創(chuàng)新突破。冷陰極在腔體內(nèi)激發(fā)等離子體,光譜儀對(duì)由此產(chǎn)生的光譜線進(jìn)行評(píng)估,可用于監(jiān)測(cè)1×10-7至5mbar的氣體類型,并同時(shí)測(cè)量從1×10-7mbar到大氣的總壓力。Augent® OPG550的應(yīng)用多種多樣,包括帶有泄漏氣體測(cè)定功能的腔室泄漏檢查、更快的上升速率(RoR)測(cè)試、實(shí)時(shí)終點(diǎn)檢測(cè)以及在工藝過程中監(jiān)測(cè)氣體類型和濃度。