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真空矩形閥

簡(jiǎn)要描述:真空矩形閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)之鍍膜設(shè)備,安裝于生產(chǎn)線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(tǒng)(handling system),傳輸系統(tǒng)(handling system)與制程腔室(process chamber)等需要真空與壓力分隔的地方。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-11-21
  • 訪  問  量:1392
  • 產(chǎn)品資料:

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地進(jìn)口
加工定制

產(chǎn)品應(yīng)用

Htc真空矩形閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的真空閥,外形尺寸小,設(shè)計(jì)緊湊,所有動(dòng)件皆位于大氣側(cè)因而與真空側(cè)隔絕,可減少粉塵產(chǎn)生,并提升產(chǎn)品的使用壽命。另外還有無氣壓時(shí)的封合自鎖保護(hù),封板快速拆裝設(shè)計(jì)易維修等優(yōu)點(diǎn)。


設(shè)計(jì)原理/特征

l   低振動(dòng)及低粉塵設(shè)計(jì)(Low vibration and Low particle)

l   利用凸輪機(jī)構(gòu)與彈簧完成封板封合動(dòng)作。

l   雙氣壓缸、單出力軸驅(qū)動(dòng)。

l   驅(qū)動(dòng)軸桿封合頂緊輔助裝置。

l   無氣壓時(shí)的封合自鎖保護(hù)裝置。

l   封板快速拆裝設(shè)計(jì),方便O-ring維修更換。

l   100 萬周期壽命。


真空矩形閥分類

l   標(biāo)準(zhǔn)型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)

l   標(biāo)準(zhǔn)型矩形門型閘閥(Rectangular doors)

l   大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)

l   大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)


Body 材質(zhì)

鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)

Body 表面處理

電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)







































































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