產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 真空泵 > 復(fù)合渦輪分子泵 > EXT255DXEDWARDS復(fù)合渦輪分子泵
簡要描述:EXT255DX Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn),以及壽命長、小振動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。
詳細(xì)介紹
品牌 | Edwards/愛德華 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
---|---|---|---|
加工定制 | 否 |
EXT255DX Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵
性能特點(diǎn)
兼容TIC渦輪儀表控制器。
多種通訊模式。
*并口,用于傳統(tǒng)控制信號(hào)接口
* 串口,用于RS-232接口。
通過RS-232接口,用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。
* 放氣閥控制設(shè)置。
* 正常泵速顯示。
* 準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。
* 功耗。
* 泵溫。
增強(qiáng)型泵速、功耗、溫度監(jiān)測。
EXT255DX Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵
技術(shù)數(shù)據(jù)
前級(jí)泵也可以使用抽速更大的旋片泵,還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。
* 超出該入口壓力時(shí),轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
** 此時(shí)功率160W。
*** 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時(shí),泵速下降約10%。
前級(jí)泵為兩級(jí)旋片泵,并烘烤48小時(shí)。
Pb<5 mbar(500 Pa)并烘烤48小時(shí)。
安裝尺寸
A 放氣口的手動(dòng)放氣閥
B 電連接盒
C 邏輯接頭
D 前級(jí)泵接口
E 吹掃凈化口(空白)
F 插座
G 地線連接
EXT255DX渦輪分子泵特性曲線
訂貨信息
描述 | 貨號(hào) |
EXT2555DX ISO100 | B753-11-000 |
EXT255DX CF100 | B753-12-000 |
EXT2555iDX ISO100 級(jí)間法蘭DN25NW | B753-13-000 |
TIC 渦輪控制器 200W RS232 | D397-12-000 |
TIC 渦輪儀表控制器 200W RS232 | D397-22-000 |
產(chǎn)品咨詢