UL5000干式氦氣檢漏儀  的詳細(xì)介紹

檢漏過(guò)程中可定義速度和精度

INFICON UL5000 氦氣檢漏儀設(shè)計(jì)用于滿足zui關(guān)鍵和zui苛刻的檢漏應(yīng)用。通過(guò)在經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的真空設(shè)計(jì)中采用 INFICON 軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S，UL5000 提供測(cè)試靈活性、高靈敏度和快速、精確的測(cè)量結(jié)果，使得所有檢漏應(yīng)用更迅速、容易。

該 UL5000 在所有測(cè)量范圍中提供快速響應(yīng)時(shí)間，并提供極短的周期時(shí)間以達(dá)到測(cè)試條件和zui終結(jié)果。特別設(shè)計(jì)的真空結(jié)構(gòu)提供持續(xù)、較高的氦氣抽氣能力及極快的響應(yīng)時(shí)間。

功能

• HYDRO-S（氫氣抑制）可確?？焖贊M足所有測(cè)試條件。

• I-CAL（智能 - 泄漏率計(jì)算法）確保了在所有測(cè)量范圍中提供快速泄漏響應(yīng)。

• 特殊的多入口渦輪分子泵可提供優(yōu)化的較高氦氣抽氣能力及全壓力范圍內(nèi)的高氦氣壓縮比，實(shí)現(xiàn)了靈敏度、響應(yīng)度和快速清潔性。

• 增壓渦輪分子泵可對(duì)所有測(cè)試對(duì)象做出極快響應(yīng)，包括zui大容量和腔室。

• 經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的 INFICON 扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜儀多年以來(lái)的精確、可重復(fù)結(jié)果實(shí)現(xiàn)了*、免維護(hù)的設(shè)計(jì)。

• 自保護(hù)功能可防止 UL5000 受到氦氣和微粒的污染，自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保 UL5000 的隨時(shí)可用性。

• 旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制界面和可選配的手持遙控器實(shí)現(xiàn)了操作靈活性。

• 裝置和系統(tǒng)軟件的訪問(wèn)控制可通過(guò)軟件激活，防止未授權(quán)使用或測(cè)試設(shè)置的意外修改。

• 通過(guò)電子郵件進(jìn)行的軟件更新可確保您的 UL5000 發(fā)揮*性能。

• 具有*高度工作面的工作站設(shè)計(jì)以及 ESD 臺(tái)墊和工具箱實(shí)現(xiàn)了測(cè)試便利性。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體和平板顯示裝置上使用的測(cè)漏部件、配件和大型腔室

• 檢漏半導(dǎo)體和平板工具

• 檢漏航空部件、配件和系統(tǒng)

• 檢漏儲(chǔ)存容器/儲(chǔ)存罐