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Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

簡要描述:GP 390型真空計運用薄膜傳感器技術(shù),該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準(zhǔn)的相對壓力指示。

  • 產(chǎn)品型號:GP390真空計
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-11-19
  • 訪  問  量:4152
  • 產(chǎn)品資料:

詳細(xì)介紹

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加工定制

Granville-Phillips系列390 Micro-lon ATM模塊(GP 390型真空計)

真空測量解決方案

Granville-PhillipsMicro-lon ATM模塊復(fù)合了經(jīng)標(biāo)定的Micro-lon電離規(guī)技術(shù)和微型Conductron熱損失傳感技術(shù)和兩個壓阻薄膜傳感器于一體,從而提供了從高真空到大氣壓的精確、連續(xù)的壓力測量。

GP 390型真空計運用薄膜傳感器技術(shù),該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準(zhǔn)的相對壓力指示。GP 390型真空計*的傳感器設(shè)計消除了在高壓力下影響熱損失傳感器特性的熱效應(yīng)。                         GP 390型真空計這種小型的模塊復(fù)合了全部四種傳感器及控制電子器件于一個緊湊的一體化設(shè)計中,減少了腔室真空規(guī)管的需求數(shù)量并zui小化所占空間。全量程壓力測量可以通過單一模擬量信號或可選的串行RS-485DeviceNet數(shù)字協(xié)議輸出。GP 390型真空計RS-485DeviceNet版本產(chǎn)品可以zui多選擇三個設(shè)定點繼電器用于工藝控制,可以在真空壓力測量范圍內(nèi)設(shè)定任意壓力值或者相對壓力值。                                  

GP 390型真空計復(fù)合規(guī)管技術(shù)

以往,在寬量程范圍內(nèi)要進(jìn)行精確測量需要對個傳感器,多個真空系統(tǒng)接口,以及相關(guān)電纜及電子器件。Granville-PhillipsMicro-lon ATM模塊GP 390型真空計)合并多傳感器于一個微機(jī)控制設(shè)計中,減少了整體購置成本,同時提高真空測量性能。

Granville-Phillips20多年成功的規(guī)管設(shè)計以及現(xiàn)場裝機(jī)經(jīng)驗運用到了生產(chǎn)新的真空測量標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品Micro-lon ATM模塊GP 390型真空計)中。量程寬、高性能、及緊湊型設(shè)計的Micro-lon ATMGP 390型真空計)是您進(jìn)行高真空系統(tǒng)壓力測量的明智之選。      

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊


GP 390型真空計內(nèi)部截面

GP 390型真空計特點與優(yōu)勢:

寬量程范圍:提供從10-9Torr到大氣壓的真空壓力的連續(xù)測量。

高性能:經(jīng)過驗證的Micro-lon雙燈絲電離規(guī)技術(shù),獲的熱損失傳感器,以及精準(zhǔn)的薄膜技術(shù)消除了熱損失傳感器的熱影響,增強(qiáng)了高壓力的測量性能。

自動控制:完整集成的傳感器自動控制激活和斷開電離規(guī),因此簡化了規(guī)管操作。設(shè)定點的產(chǎn)品中,觸點繼電器可用來控制其他真空器件或?qū)崿F(xiàn)安全互鎖。設(shè)定點會存于非易失性存儲器中。

緊湊設(shè)計:一個Micro-lon規(guī)管,一個熱損失傳感器連同一個大氣薄膜規(guī)、一個絕壓薄膜規(guī),和控制器件全部集成在一個緊湊的模塊包中。

RS-485接口:允許模塊和主機(jī)之間進(jìn)行通訊,并可使用可選的RS-485模塊配置進(jìn)行通訊。

DeviceNet接口:可提供高速壓力測量讀數(shù)及簡單的規(guī)管配置參數(shù)的獲取。

可選的過程控制繼電器:zui多可用三個設(shè)定          

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

GP 390型真空計傳感器開關(guān)點

點控制繼電器從而簡化工藝控制功能。設(shè)定點可以通過RS-485接口來配置。

現(xiàn)場可更換的規(guī)管組件:規(guī)管組件可以在模塊從真空系統(tǒng)上取下后僅僅使用螺絲刀就能實現(xiàn)快速簡單的更換。

 GP 390型真空計技術(shù)規(guī)格

測量范圍(對于空氣或N2)(注釋1、23

Torr

1x10-9到大氣壓

Mbar

1.33x10-9到大氣壓

Pa

1.33x10-7到大氣壓

X射線極限(注釋4

Torr

<3x10-10

Mbar

<4x10-10

Pa

<4x10-8

基于環(huán)境壓力的相對壓力測量范圍

Torr

-750+250

Mbar

-999333

KPa

-99.933.3

精度(對于空氣或N2的絕壓)(注釋5

Torr

1x10-6100mTorr+/-15%讀數(shù);100mTorr150+/-10%讀數(shù);1501000+/-2.5%讀數(shù)

Mbar

1.33x10-60.133+/-15%讀數(shù);0.133200+/-10%讀數(shù);2001333+/-2.5%讀數(shù)

Pa

1.33x10-613.3+/-15%讀數(shù);13.32x104+/-10%讀數(shù);2x1041.33x105+/-2.5%讀數(shù)

重復(fù)性(對于空氣或N2的絕壓)(注釋6

Torr

1x10-6100mTorr+/-5%讀數(shù);100mTorr150+/-2.5%讀數(shù);1501000+/-1.0%讀數(shù)

Mbar

1.33x10-60.133+/-5%讀數(shù);0.133200+/-2.5%讀數(shù);2001333+/-1.0%讀數(shù)

Pa

1.33x10-613.3+/-5%讀數(shù);13.32x104+/-2.5%讀數(shù);2x1041.33x105+/-1.0%讀數(shù)

精度(相對壓力)

+/-2.5Torr+2.5%讀數(shù));+/-3.3mbar+2.5%讀數(shù));+/-0.33KPa+2.5%讀數(shù))

響應(yīng)時間

<25毫秒

模擬量輸出

壓力

對數(shù),0.57.0VDC,0.5V/數(shù)量級

相對壓力

線性,1-5VDC-750+250Torr-1000+333mbar;-100+33KPa

RS-485串口

數(shù)字通訊口

2線,半雙工

通訊格式

ASCII,無奇偶校驗位,1位停止位

波特率

1200,2400,4800,9600,19200(默認(rèn)),38400

地址

0-63,通過地址選擇開關(guān)選擇或通過RS-485命令

DeviceNet網(wǎng)絡(luò)接口

通訊類型

輪詢I/O和顯示傳送

通訊格式

BOOL,BYTE,STRUCT,SSTRING,REAL,INT,UINTUSINT,EPATHWORD數(shù)據(jù)

波特率

125,250500千波,開關(guān)選擇

地址

0-63,通過地址選擇開關(guān)選擇

工作溫度

10-400C50-1040F)不結(jié)露

存放溫度

-40-+700C-40-+1580F)不結(jié)露

烘烤溫度

zui高1050C2210F),移除電子器件

電離規(guī)發(fā)射電流

自動量程切換

電離規(guī)自動控制設(shè)定(默認(rèn))

電離規(guī)啟動

2x10-2Torr;2.66x10-2mbar2.66Pa,隨壓力上升關(guān)閉

電離規(guī)停止

3x10-2Torr;3.99x10-2mbar,3.99Pa,隨壓力上升關(guān)閉

切換至高發(fā)射

5x10-6Torr;6.66x10-6mbar,6.66x10-4Pa,隨壓力上升關(guān)閉

切換至低發(fā)射

1x10-5Torr1.33x10-5mbar,1.33x10-3Pa,隨壓力上升關(guān)閉

電離規(guī)除氣

電子轟擊;每個燈絲3W一分鐘

電離規(guī)燈絲

鎢絲或鍍氧化釔的銥絲

燈絲操作(注釋7

交替(氧化釔燈絲的默認(rèn)模式),自動,手動(鎢絲的默認(rèn)模式)

熱損失傳感絲

鍍金鎢

規(guī)管容積

10.8cm30.65in3

LED指示

模塊狀態(tài)

I/O連接

RS-485/模擬量:15D型插針接頭,DeviceNet5針微型接頭

zui大沖擊電流

RS-485/模擬量:2A 48W 0.5秒,DeviceNet0.25A

供電要求

RS-485/模擬量:24VDC+10%-15%1A 22W額定;DeviceNet24VDC(1126.4VDC)額定0.2A

CE認(rèn)證

EMC電磁兼容指令

89/3361/EEC;EN50081-2EN50082-2,EN1326-1

低壓指令

73/23/EEC;EN61010-1

顯示選項

圖形液晶

繼電器設(shè)定點選項

RS-485DeviceNet2SPDT(NO/NC)3SPST(NO),每個設(shè)定點都可以獨立分配給絕壓或相對壓力測量

繼電器觸點額定值

zui大

1A  30VDC阻抗

zui小

5mA  5VDC阻抗

重量

728.5g25.7oz)(2.75CF法蘭)

外殼材料

壓鋁粉末噴涂

暴露于真空下的材質(zhì)

304不銹鋼,鉭,鎢,銥絲鍍氧化釔,氧化鋁,銀銅焊料,可伐,可伐鍍金或鍍鎳,硅酸硼玻璃

GP 390型真空計注釋:

  1. 測量結(jié)果會隨不同氣體和混合情況而改變。

  2. Micro-lon ATM模塊不能用于易燃易爆氣體測量。

  3. 大氣壓的數(shù)值是基于標(biāo)定時環(huán)境壓力。

  4. X射線極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測量。

  5. 精度(規(guī)管讀數(shù)和校驗參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異)是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。

  6. 重復(fù)性是指同一模塊在不同時間讀取相同壓力值的能力。

  7. 在交替模式下模塊將交替激活電離規(guī)燈絲。在自動模式下燈絲1會先工作直至它不能工作為止,然后模塊自動切換到燈絲2工作。在手動模式下模塊會按照自動模式的操作方式讓燈絲工作,除非手動干預(yù)要求激活燈絲2。

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊                                                                  

GP 390型真空計尺寸



























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