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IE414和IE514是基于熱陰極電離效應(yīng)的高超真空傳感器。IE414是Bayard-Alpert量規(guī),而IE514基于Extractor提取器原理。這些無源真空計由IM540真空計控制器組合和控制。通過調(diào)節(jié)陰極發(fā)射電流,IE414的測量范圍從1×10-2毫巴到1×10-11毫巴,跨度超過9級。
IM540真空計控制器是一款多功能電離計控制器,可在10-12mbar和大氣壓范圍內(nèi)提供完整的真空測量和控制。根據(jù)應(yīng)用和用戶的需求,IM540是一站式解決方案,因為它可以結(jié)合多達4種不同的真空測量原理-皮拉尼、電容式隔膜、Bayard-Alpert和Extractor提取器。
過程測量、控制和數(shù)據(jù)記錄的可持續(xù)解決方案TPG36x有 源真空計控制器與各種INFICON有源真空計兼容,能夠監(jiān) 測和記錄整個壓力范圍(10-10至1500毫巴(10-10至1125托)和設(shè)定點狀態(tài)。
INFICON倒置磁控管真空計MAG470的測量范圍為5×10-11毫巴至1×10-2毫巴(3.8×10-11Torr至7.5×10-3Torr)。
NFICON PBR 260是一種組合式真空計,在一個緊湊 的單一位置上作為兩個真空計運行。主要的測量原理是 根據(jù)Bayard-Alpert原理的熱陰極真空計,該真空計將由一個鉑熱傳導(dǎo)測量原理完成和支持。
TripleGauge®BCG552將3個真空傳感元件組合在一個傳感器中。這款新TrigonTM系列的旗艦產(chǎn)品提供了從UHV(5x10-10)到大氣壓(1500毫巴)的極寬測量范圍。BCG552配備有額外ATM傳感器預(yù)設(shè)計用于壓差測量,并在多種應(yīng)用 中 用 作 真 空 開 關(guān) 。